• Класифікатори
• кремній, кремний

кремній полікристалічний, кремний поликристаллический

Документи:

• Агаев, Ф. Г. Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния [Текст] / Ф. Г. Агаев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2001. – № 2. – 49-50.
• Искендер-Заде, З. А. Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем [Текст] / З. А. Искендер-Заде, Ф. Д. Касимов, С. А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2002. – № 4-5. – 40-42.
• Кабальнов, Ю. А. Повышение частотных свойств биполярных транзисторов при использовании буферного слоя поликристаллического кремния на эмиттере [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 : защищена 25.12.87 / Юрий Аркадьевич Кабальнов; Таганрог. радиотехнич. ин-т. – Таганрог, 1987. – 16 с. – Библиогр.: с.15-16.
• Касимов, Ф. Д. Негатронные элементы на основе локальных пленок поликристаллического кремния [Текст] / Ф. Д. Касимов, М. Р. Рагимов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2002. – № 1. – 53-56.
• Лавренко, В. А. Электрохимические свойства спеченного поликристаллического a-SiC [Текст] / В. А. Лавренко, Е. Л. Вишнякова, В. А. Швец // Порошковая металлургия. – 2004. – № 9-10. – 60-68.
• Манжа, М. Н. Влияние конструктивных факторов реакторов пониженного давления на неоднородность свойств осаждаемых слоев [Текст] / М. Н. Манжа // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2004. – № 2. – 23-28.
• Манжа, Н. М. Влияние температуры осаждения на структуру слоев поликристаллического кремния [Текст] / Н. М. Манжа, А. Н. Сауров // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2006. – № 3. – 14-17.
• Наливайко, О. Ю. Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста [Текст] / О. Ю. Наливайко, А. С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2009. – № 6. – С. 50-55.
• Наливайко, О. Ю. Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста [Текст] / О. Ю. Наливайко, А. С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2012. – № 2. – С. 37-41.
• Новак, А. В. Формирование пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами для конденсаторных структур с повышенной емкостью [Текст] / А. В. Новак // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2013. – № 6. – С. 10-16.
• Реков, Ю. В. Підготовка процесу відновлення трихлорсилану воднем [Текст] / Ю. В. Реков, І. Ф. Червоний // Вісник Вінницького політехнічного інституту. – 2013. – № 5. – С. 26-31.
• ГОСТ 26550-85Е Кремний поликристаллический [Текст] : Технические условия.