| |
Манжа, М. Н.
Влияние конструктивных факторов реакторов пониженного давления на неоднородность свойств осаждаемых слоев [Текст] / М. Н. Манжа
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2004. – № 2. – 23-28.
Экспериментально исследована неоднородность свойств слоев (пиролизного диоксида кремния, нитрида кремния, поликристаллического кремния). Предложены конструкции реакторов, обеспечивающие изотермические и изобарические условия осаждения слоев |
