| |
Реков, Ю. В.
Підготовка процесу відновлення трихлорсилану воднем [Текст] / Ю. В. Реков, І. Ф. Червоний
// Вісник Вінницького політехнічного інституту. – 2013. – № 5. – С. 26-31.
Оцінені енергетичні та електричні параметри попереднього нагрівання кремнієвих прутків-підкладок задля генерації носіїв заряду і забезпечення необхідної провідності кремнію при виробництві високочистого полікристалічного кремнію. |
