| |
Наливайко, О. Ю.
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста [Текст] / О. Ю. Наливайко, А. С. Турцевич
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2009. – № 6. – С. 50-55.
Проведено исследование кинетики осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных в процессе роста фосфором (ПКЛФ). |
