| |
Наливайко, О. Ю.
Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста [Текст] / О. Ю. Наливайко, А. С. Турцевич
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2012. – № 2. – С. 37-41.
Исследовано влияние осаждения на состав пленок поликристаллического кремния, легированного в процессе роста кислородом. |
