| |
Искендер-Заде, З. А.
Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем [Текст] / З. А. Искендер-Заде, Ф. Д. Касимов, С. А. Исмайлова
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2002. – № 4-5. – 40-42.
Получение высококачественных монокристаллических слоев |
