Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
          Манжа, Н. М.
    Влияние температуры осаждения на структуру слоев поликристаллического кремния [Текст] / Н. М. Манжа, А. Н. Сауров
    // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2006. – № 3. – 14-17.

   Исследована структура поликристаллических слоев кремния

  УДК 621.382.049.702


            




Теми документа






Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'