Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
Русский
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
Манжа, Н. М.
Влияние температуры осаждения на структуру слоев поликристаллического кремния
[Текст] / Н. М. Манжа, А. Н. Сауров
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2006. – № 3. – 14-17.
Исследована структура поликристаллических слоев кремния
УДК 621.382.049.702
Додати до списку
Теми документа
Ключові слова/Т/температура
Ключові слова/О/осаждение
Ключові слова/К/кремній, кремний/кремній полікристалічний, кремний поликристаллический
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'