Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
распыление ионное
Документи:
- Закономерности процесса формирования полупроводниковых нонаструктур с помощью фокусированого ионного пучка [Текст] / А. В. Бессонова, В. К. Неволин, А. В. Ромашкин, К. А. Царик // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 6. – С. 27-32.
- Вяткин, А. Ф. Диагностика отказов интегральных микросхем с использованием физического ионного распыления [Текст] / А. Ф. Вяткин, В. И. Зиненко // Приборы и техника эксперимента. – 2011. – № 2. – С. 132-136.
- Григорьев, А. И. Обработка газовых подшипников с применением ионного распыления [Текст] / А. И. Григорьев, А. П. Семенов ; АН СССР. Гос. науч.-исслед. ин-т машиноведения. – М. : Наука, 1976. – 123 с.
- Матвеев, В. И. Энергии кластеров при ионном распылении металла [Текст] / В. И. Матвеев, С. А. Кочкин // Изв.ВУЗов.Физика. – 2004. – 47, № 3. – 8-12.
- Мельник, И. В. Математическое моделирование физических процессов, протекающих на поверхности охлаждаемых катодов в источниках электронов высоковольтного тлеющего разряда [Текст] / И. В. Мельник, С. Б. Тугай // Электронное моделирование. – 2012. – Т. 34, № 6. – С. 83-97.
- Нагорный, А. Г. Измеритель мощности для установки высокочастотного катодного распыления [Текст] / А. Г. Нагорный, С. В. Колинько // Приборы и техника эксперимента. – 2003. – № 1. – 144-148.
- Перекрестов, В. И. Некоторые особенности формирования покрытий на внутренней поверхности трубы при ионном распылении стержней [Текст] / В. И. Перекрестов, Ю. А. Косминская // Металлофизика и новейшие технологии. – 2004. – 26, № 4. – 497-508.
- Полуботько, Е. А. Приготовление образцов наноразмерных структур для просвечивающей электронной микроскопии [Текст] / Е. А. Полуботько, В. Т. Черепин // Металлофизика и новейшие технологии. – 2009. – Т. 31, № 6. – С. 805-813.
- Рудый, А. С. Моделирование процессов формирования наноструктур при распылении поверхности ионной бомбардировкой [Текст] / А. С. Рудый, А. Н. Куликов, А. В. Метлицкая // Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 2. – С. 109-118.
- Влияние режима ионного распыления на микрорельеф голограммных дифракционных решеток [Текст] / И. А. Файзрахманов, Ф. А. Саттаров, А. В. Лукин, И. Б. Хайбуллин // Оптический журнал. – 2004. – 71, № 1. – 26-29.
|