| |
Рудый, А. С.
Моделирование процессов формирования наноструктур при распылении поверхности ионной бомбардировкой [Текст] / А. С. Рудый, А. Н. Куликов, А. В. Метлицкая
// Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 2. – С. 109-118.
Приведены результаты исследования пространственно нелокальной модели эрозии поверхности ионной бомбардировкой. |
