| |
Нагорный, А. Г.
Измеритель мощности для установки высокочастотного катодного распыления [Текст] / А. Г. Нагорный, С. В. Колинько
// Приборы и техника эксперимента. – 2003. – № 1. – 144-148.
Описан измеритель высокочастотной мощности, поступающей в газовый разряд магнетронной распылительной системы установки для нанесения тонких пленок |
