| |
Полуботько, Е. А.
Приготовление образцов наноразмерных структур для просвечивающей электронной микроскопии [Текст] / Е. А. Полуботько, В. Т. Черепин
// Металлофизика и новейшие технологии. – 2009. – Т. 31, № 6. – С. 805-813.
Экспериментально показано, что можно приготовить образец для ПЭМ толщиной 40 нм и менее путем ионного травления ускоренными ионами ксенона. |
