| |
Закономерности процесса формирования полупроводниковых нонаструктур с помощью фокусированого ионного пучка [Текст] / А. В. Бессонова, В. К. Неволин, А. В. Ромашкин, К. А. Царик
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 6. – С. 27-32.
Исследованы закономерности получения трехмерных наноструктур с помощью фокусированного ионного пучка. |
