Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
профилометрия оптическая
Документи:
- Многофункциональный бесконтактный профилометр на основе перестраиваемого акустооптического фильтра изображения [Текст] / А. В. Висковатых, А. С. Мачихин, В. Э. Пожар, В. И. Пустовойт // Приборы и техника эксперимента. – 2015. – № 1. – С. 117-121.
- Методика измерения механических напряжений в тонких пленках на пластине с помощью оптического профилометра [Текст] / Н. А. Дюжев, А. А. Дедкова, Е. Э. Гусев, А. В. Новак // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – № 4. – С. 367-372.
- Зависимость механических напряжений в пленках нитрида кремния от режимов плазмохимического осаждения [Текст] / А. В. Новак, В. Р. Новак, А. А. Дедкова, Е. Э. Гусев // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2017. – Т. 22, № 2. – С. 138-146.
|