| |
Методика измерения механических напряжений в тонких пленках на пластине с помощью оптического профилометра [Текст] / Н. А. Дюжев, А. А. Дедкова, Е. Э. Гусев, А. В. Новак
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – № 4. – С. 367-372.
Разработан и реализован алгоритм анализа рельефа для расчета механических напряжений в выбранном направлении на пластине в программной среде Matlab. |
