| |
Многофункциональный бесконтактный профилометр на основе перестраиваемого акустооптического фильтра изображения [Текст] / А. В. Висковатых, А. С. Мачихин, В. Э. Пожар, В. И. Пустовойт
// Приборы и техника эксперимента. – 2015. – № 1. – С. 117-121.
Разработан бесконтактный профилометр полного поля, работающий по схеме оптического когерентного микроскопа со спектральной регистрацией. Его особенностью является то, что спектральная селекция осуществляется в приемном канале. |
