• Класифікатори
• С

система мікроелектромеханічна, система микроэлектромеханическая

Документи:

• Holovatyy, A. Development of vhdl-ams model of integrated microaccelerometer with sigma-delta control [Текст] / A. Holovatyy, V. Teslyuk, M. Lobur // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2013. – № 777 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – С. 66-73.
• Accelerometer parameters decomposition model for technological process design automation [Текст] / I. Nevlyudov, V. Yevsieiev, S. Miliutina, V. Bortnikova // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". Серія : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 2015. – № 828. – С. 11-15.
• Tkachenko, S. Educational Programs for Calculating the Parameters of Mems Using Cloud Computing [Текст] / S. Tkachenko, R. Kulpa, V. Havryshko // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2014. – № 808 : Комп'ютерні науки та інформаційні технології. – С. 91-94.
• Vasyliuk, Ia. Method and program model of microelectromechanical systems components synthesis based on genetic algorithm and ontology models [Текст] / Ia. Vasyliuk, V. Teslyuk, P. Denysyuk // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2013. – № 777 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – С. 105-108.
• Микроэлектромеханические системы: новые возможности оптико-электронной аппаратуры космического базирования [Текст] / Ю. Д. Акульшин, Д. Н. Еськов, В. А. Парфенов, Е. Н. Пятышев // Оптический журнал. – 2002. – 69, № 11. – 65-71.
• Виноградов, А. И. Зондовые исследования характеристик плазмы в реакторе ICP-типа [Текст] / А. И. Виноградов, Н. М. Зарянкин, С. П. Тимошенков // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2012. – № 1. – С. 54-58.
• Кончаковская, О. С. Численный анализ одного нелинейного эллиптического уравнения, возникающего при моделировании микроэлектромеханических систем [Текст] / О. С. Кончаковская, М. В. Сидоров // Радиоэлектроника и информатика. – 2016. – № 2. – С. 23-28.
• Кособуцький, П. Мікро- і наноелектромеханічні системи: базові принципи проектування явищ, матеріалів та елементів [Текст] = Mikro- and nanoelectromechanical systems: basic principles of design phenomena, materials and elements : навчальний посібник / П. Кособуцький, М. Лобур, В. Каркульовський ; НУ "Львівська політехніка". – Львів : Вид-во Львівської політехніки, 2017. – 400 с. – ISBN 978-966-941-105-1 : 174,60 грн.
• Разработка узкополосного СВЧ микроэлектромеханического переключателя для частотного диапазона 10-12 ГГц на подложках арсенида галлия [Текст] / П. П. Мальцев, М. В. Майтама, А. Ю. Павлов, И. В. Щаврук // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2014. – № 5. – С. 81-87.
• Парфенов, Н. М. Анализ технологических особенностей при изготовлении структур КНИ МЭМС-преобразователей [Текст] / Н. М. Парфенов // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 3. – С. 235-239.
• Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку [Текст] / И. И. Рубцевич, Я. А. Соловьев, В. Б. Высоцкий [и др.] // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2011. – № 4. – С. 29-32.
• Тимошенков, С. П. Применение МЭМС-сенсоров в системах навигации и ориентации подвижных объектов [Текст] / С. П. Тимошенков, А. П. Кульчицкий // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2012. – № 6. – С. 51-56.
• Тимошенко, С. П. Разработка и изготовление чувствительных элементов микроэлектромеханических систем [Текст] / С. П. Тимошенко, С. А. Зотов, В. В. Калугин // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 4-5. – 125-129.
• Чанов, Л. Датчики МЭМС компании Omron [Текст] / Л. Чанов // Электронные компоненты. – 2005. – № 11. – 122-124.
• Micro Electro Mechanical Systems [Електронний ресурс] / edit. Qing-An Huang. – Electronic text data. – Springer, 2018. – ISBN 978-981-10-5945-2.