| |
Микроэлектромеханические системы: новые возможности оптико-электронной аппаратуры космического базирования [Текст] / Ю. Д. Акульшин, Д. Н. Еськов, В. А. Парфенов, Е. Н. Пятышев
// Оптический журнал. – 2002. – 69, № 11. – 65-71.
Приводится описание МОЭМС различного назначения |
