| |
Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку [Текст] / И. И. Рубцевич, Я. А. Соловьев, В. Б. Высоцкий [и др.]
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2011. – № 4. – С. 29-32.
Проведены исследования зависимости механических напряжений от режимов осаждения пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом стимулированного плазмой химического осаждения слоев из газовой фазы. |
