| |
Виноградов, А. И.
Зондовые исследования характеристик плазмы в реакторе ICP-типа [Текст] / А. И. Виноградов, Н. М. Зарянкин, С. П. Тимошенков
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2012. – № 1. – С. 54-58.
Проведена оценка плотности плазмы в области подложки при различных параметрах процесса. |
