Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
розпилення магнетронне, распыление магнетронное
Документи:
- Получение наноградиентых покрытий для лазерных приборов методом магнетронного распыления [Текст] / Н. Ф. Абрамов, О. Д. Вольпян, Ю. А. Обод, Р. В. Дронский // Квантовая электроника. – 2013. – Т. 43, № 9. – С. 791-794.
- Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике [Текст] / А. Ф. Белянин, М. И. Самойлович, В. Д. Житковский, А. Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 5. – 35-41.
- Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике [Текст] / А. Ф. Белянин, М. И. Самойлович, К. А. Ковальский, К. Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 4. – 46-54.
- Вплив параметрів процесу магнетронного напилення на фазовий склад і структуру покриттів з нітриду вуглецю [Текст] / Ю. С. Борисов, О. В. Волос, Н. В. Вігілянська [та ін.] // Автоматичне зварювання. – 2022. – № 9. – С. 16-20.
- Свойства металлических контактов на пленках TiO_2, изготовленных методом реактивного магнетотронного распыления [Текст] / В. В. Брус, З. Д. Ковалюк, П. Д. Марьянчук [и др.] // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2010. – № 5-6. – С. 60-62.
- Эволюция структуры фазового состава многослойной пленочной композиции Co/C при температурном воздействии [Текст] / Е. А. Бугаев, А. Ю. Девизенко, Е. Н. Зубарев [и др.] // Металлофизика и новейшие технологии. – 2009. – Т. 31, № 9. – С. 1189-1204.
- Влияние температуры отжига на сегнетоэлектрические свойства пленок легированного ниобием танталата стронция-висмута [Текст] / Д. А. Голосов, С. М. Завадский, В. В. Колос [и др.] // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 1. – С. 13-20.
- Влияние условий формирования на свойства тонких пленок ZnO:Ga, осажденных методом магнетронного распыления на холодную подложку [Текст] / Д. Г. Громов, А. М. Козьмин, А. С. Шулятьев [и др.] // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2012. – № 6. – С. 10-16.
- Структура та механічні властивості плівок Ti–Al–C і Ti–Al–Si–C: експериментальне дослідження та розрахунок із перших принципів [Текст] / В. І. Іващенко, О. О. Онопрієнко, П. Л. Скринський [та ін.] // Надтверді матеріали. – 2021. – № 2. – С. 33-45.
- Влияние скорости охлаждения и модифицирования на микроструктуру сплава на основе кремния для магнетронного распыления [Текст] / И. Г. Колесникова, В. И. Серба, Ю. В. Кузьмич, Б. М. Фрейдин // Металлы. – 2004. – № 2. – С. 102-106.
- Магнитооптические свойства сверхтонких пленок висмутсодержащих феррит-гранатов, полученных методом магнетронного радиочастотного распыления [Текст] / В. А. Котов, В. Г. Шаврон, М. Васильев [и др.] // Радиотехника и электроника. – 2014. – Т. 59, № 12. – С. 1242-1245.
- Получение пленок Ti-Al-Si-B-N методом магнетронного распыления и исследование их механических свойств [Текст] / А. А. Оноприенко, В. И. Иващенко, И. А. Подчерняева [и др.] // Порошковая металлургия. – 2014. – № 5/6. – С. 126-134.
- Оноприенко, А. А. Зависимость электросопротивления и микроструктуры углеродных пленок от условий осаждения [Текст] / А. А. Оноприенко, И. Б. Янчук // Порошковая металлургия. – 2005. – № 9-10. – С. 106-113.
- Перекрестов, В. И. Расчет радиального распределения химического состава покрытий системы Ti--C, осажденных при магнетронном распылении мишени [Текст] / В. И. Перекрестов, В. А. Хворост, А. В. Павлов // Сверхтвердые материалы. – 2000. – № 5. – 10-15.
|