| |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике [Текст] / А. Ф. Белянин, М. И. Самойлович, В. Д. Житковский, А. Л. Каменева
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 5. – 35-41.
Для формирования защитного покрытия, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления |
