| |
Влияние температуры отжига на сегнетоэлектрические свойства пленок легированного ниобием танталата стронция-висмута [Текст] / Д. А. Голосов, С. М. Завадский, В. В. Колос [и др.]
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 1. – С. 13-20.
Исследованы характеристики сегнетоэлектрических тонких пленок легированного ниобием танталата стронция-висмута (SBTN), нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления на Pt/TiO_2/SiO_2/Si подложки. Для формирования структуры сегнетоэлектрика нанесенные пленки подвергались последующему отжигу. |
