| |
Вплив параметрів процесу магнетронного напилення на фазовий склад і структуру покриттів з нітриду вуглецю [Текст] / Ю. С. Борисов, О. В. Волос, Н. В. Вігілянська [та ін.]
// Автоматичне зварювання. – 2022. – № 9. – С. 16-20.
Осадження CNx-покриттів проводили за допомогою двох магнетронних пристроїв з титановою та графітовою мішенню в суміші газів Ar/N2. Досліджено вплив складу газової суміші (Ar/N2), тиску (0,35, 1 та 2 Па) та температури (100…200 градусів Цельсія) на структуру покриття CNx. |
