Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
імплантація іонів, имплантация ионов
Документи:
- Агеев, О. А. Исследование параметров взаимодействия фокусированных ионных пучков с подложкой [Текст] / О. А. Агеев, А. С. Коломийцев // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 3. – С. 20-25.
- Фрактальный анализ упорядоченности поверхностных микроструктур [Текст] / С. А. Апрелов, Г. Н. Гайдуков, Н. Н. Герасименко, Н. А. Медетов // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 2. – 25-31.
- Влияние режимов ионного легирования и фотонного отжига на параметры имплантированных слоев n-GaAs:Si [Текст] / А. Ю. Бончик, И. И. Ижнин, С. Г. Кияк, Г. В. Савицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 3. – 3-4.
- Высокотемпературный блок для приемника ионов ускорителя ИЛУ-3 [Текст] / Г. Г. Гумаров, В. И. Нуждин, В. Ю. Петухов [и др.] // Приборы и техника эксперимента. – 2014. – № 5. – С. 135-138.
- Высокоинтенсивная имплантация ионов алюминия в титан [Текст] / И. А. Курзина, И. А. Божко, М. П. Калашников [et al.] // Металлофизика и новейшие технологии. – 2004. – 26, № 12. – 1645-1660.
- Использование ускорителя нейтронного генератора НГ-12И для имплантации ионов водорода [Текст] / А. П. Степовик, Г. В. Мокичев, Э. П. Магда [et al.] // Приборы и техника эксперимента. – 2005. – № 1. – 126-129.
|