|
Высокотемпературный блок для приемника ионов ускорителя ИЛУ-3 [Текст] / Г. Г. Гумаров, В. И. Нуждин, В. Ю. Петухов [и др.] // Приборы и техника эксперимента. – 2014. – № 5. – С. 135-138.
Описана конструкция многопозиционного высокотемпературного блокадля приемника ионов ускорителя ИЛУ-3 с диапазоном работы 1000 С. Устройство позволяет последовательно проводить имплантацию до четырех образцов при стабилизированной температуре без развакуумирования камеры ускорителя. |