Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

тест-объект для калибровки

Документи:

Новиков, Ю. А. Виртуальный растровый электронный микроскоп. 3. Полуэмпирическая модель формирования сигнала РЭМ [Текст] / Ю. А. Новиков // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 4. – С. 263-274.
Новиков, Ю. А. Влияние наклона тест-объекта на калибровку РЭМ [Текст] / Ю. А. Новиков // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 2. – С. 152-158.