Ркассмиотрено влияние наклона тест-объекта с трапециевидным профилем и большими углами наклона боковых стенок на калибровку растрового электронного микроскопа. При использовании величины проекции боковой наклонной стенки выступов и канавок на онование структуры наклон тест-объекто приводит к появлению систематической погрешности. Разработан метод определения угла наклона тест-объекта, который позволяет измерить этот угол, определить и устранить систематическую погрешность.