| |
Новиков, Ю. А.
Виртуальный растровый электронный микроскоп. 3. Полуэмпирическая модель формирования сигнала РЭМ [Текст] / Ю. А. Новиков
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 4. – С. 263-274.
Приведен анализ экспериментов, выполненых на растровых электронных микроскопах, с тест-объектами с трапецевидным профилем и большими углами наклона боковых стенок.На основе анализа предложена полуэмпирическая модель формирования изображения в РЭМ, работающем в низковольтном режиме. |
