• Класифікатори
• система

система магнетронна розпилювальна, система магнетронная распылительная

Документи:

• Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом [Текст] / К. Е. Евдокимов, М. Е. Конищев, С. Чжилэй, В. Ф. Пичугин // Приборы и техника эксперимента. – 2016. – № 6. – С. 44-49.
• Вакуумний пост для нанесення покриттів на внутрішню поверхню труб методом магнетронного розпилення (на англ. мов.) [Текст] / В. М. Коломієць, О. І. Шкурат, С. М. Кравченко [et al.] // Science and Innovation. – 2020. – Vol. 16, № 4. – С. 50-56.
• Сочугов, Н. С. Источник питания для магнетронных распылительных систем [Текст] / Н. С. Сочугов, В. О. Оскирко, Р. Е. Спирин // Приборы и техника эксперимента. – 2013. – № 2. – С. 62-68.