| |
Сочугов, Н. С.
Источник питания для магнетронных распылительных систем [Текст] / Н. С. Сочугов, В. О. Оскирко, Р. Е. Спирин
// Приборы и техника эксперимента. – 2013. – № 2. – С. 62-68.
Описаны конструкции и электрические схемы источника питания для магнетронных распылительных систем мощностью до 5 кВт. Источник предназначен для работы в режиме постоянного тока и в импульсном режиме с частотой повторения импульсов до 100 кГц. |
