| |
Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом [Текст] / К. Е. Евдокимов, М. Е. Конищев, С. Чжилэй, В. Ф. Пичугин
// Приборы и техника эксперимента. – 2016. – № 6. – С. 44-49.
Проведены зондовые измерения плазмы реактивного магнетронного разряда с целью оптимизации режимов функционирования и прогнозирования работы магнетронной среднечастотной распылительной системы для осаждения соединений Ti-O-N. |
