Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
наноимпринт-литография
Документи:
- Формирование массива упорядоченных нанокатодов на основе углеродных нанотрубок методом наноимпринт литографии и процессов ПСХПО [Текст] / Д. Г. Громов, А. С. Шулятьев, В. И. Егоркин [и др.] // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2013. – № 3. – С. 43-47.
- Гусев, Е. Э. Исследование параметров нанесения антиадгезионных слоев в наноимпринт литографии [Текст] / Е. Э. Гусев, В. И. Егоркин, А. А. Зайцев // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2014. – № 4. – С. 59-63.
- Формирование кластеров никеля для роста углеродных нанотрубок [Текст] / В. И. Егоркин, А. А. Зайцев, В. К. Неволин, М. М. Симунин // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2013. – № 2. – С. 33-35.
- Егоркин, В. И. Исследование СВЧ-транзистора с субмикронным Т-образным затвором, изготовленным методом наноимпринт литографии [Текст] / В. И. Егоркин, А. А. Зайцев, С. С. Шмелев // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 1. – С. 31-37.
|