| |
Формирование массива упорядоченных нанокатодов на основе углеродных нанотрубок методом наноимпринт литографии и процессов ПСХПО [Текст] / Д. Г. Громов, А. С. Шулятьев, В. И. Егоркин [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2013. – № 3. – С. 43-47.
Разработана технология получения массива упорядоченных наноэмиттеров на основе углеродных нанотрубок. Подобраны технологические параметры получения углеродных нанотрубок. |
