| |
Егоркин, В. И.
Исследование СВЧ-транзистора с субмикронным Т-образным затвором, изготовленным методом наноимпринт литографии [Текст] / В. И. Егоркин, А. А. Зайцев, С. С. Шмелев
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 1. – С. 31-37.
Приведены результаты разработки метода создания СВЧ-транзистора, в котором Т-образный затвор формируется с применением технологии наноимпринт литографии. |
