Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
Н
неоднородность плазменная
Документи:
Фадеев, А. В.
Верификация алгоритма эмиссионной томографии плазменных неоднородностей в плазмохимическом реакторе с помощью ленгмюровского мультизонда [Текст] / А. В. Фадеев, К. В. Руденко // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 4. – С. 256-262.
Оптимизация томографического алгоритма реконструкции плазменных неоднородностей в технологических реакторах микроэлектроники [Текст] / А. В. Фадеев, К. К. Руденко, В. Ф. Лукичев, А. А. Орликовский // Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 2. – С. 119-129.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'