| |
Фадеев, А. В.
Верификация алгоритма эмиссионной томографии плазменных неоднородностей в плазмохимическом реакторе с помощью ленгмюровского мультизонда [Текст] / А. В. Фадеев, К. В. Руденко
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 4. – С. 256-262.
Малоракурсная эмиссионная томография плазмы, предполагающая введение физических свойств в алгоритм реконструкции, нуждается в достоверной экспериментальной верификации результатов независимыми методами для установления адекватности принятой модели неоднородностей плазмы. |
