| |
Оптимизация томографического алгоритма реконструкции плазменных неоднородностей в технологических реакторах микроэлектроники [Текст] / А. В. Фадеев, К. К. Руденко, В. Ф. Лукичев, А. А. Орликовский
// Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 2. – С. 119-129.
В представленой работе развивается алгоритм двухракурсной эмиссионной оптической томографии плазмы, учитывающий априорные данные об объекте исследования. |
