Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
травлення плазмохімічне
Документи:
- Івчук, Г. Контроль температури в плазмохімічних процесах травлення мікроструктур [Текст] / Г. Івчук, Ю. Кравченко, В. Осадчук // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування (СПРТП-2011) : матеріали V Міжнародної науково-технічної конференції / МОНМС України, ВНТУ, Вінницька філія ВАТ "Укртелеком". – Вінниця : ВНТУ, 2011. – С. 117-118.
- Кравченко, С. Багатоканальні системи оптичного контролю плазмохімічних процесів [Текст] / С. Кравченко, Ю. Кравченко, В. Осадчук // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування (СПРТП-2011) : матеріали V Міжнародної науково-технічної конференції / МОНМС України, ВНТУ, Вінницька філія ВАТ "Укртелеком". – Вінниця : ВНТУ, 2011. – С. 123-124.
- Кравченко, Ю. С. Формування функціонального рисунку в плівках оптично прозорих напівпровідників [Текст] / Ю. С. Кравченко, М. М. Плахотнюк // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. – 2007. – 1(13). – С. 114-121.
- Логвиненко, В. Дослідження плазмохімічного травлення дісиліцидів тугоплавких металів [Текст] / В. Логвиненко, О. Кіщук // Матеріали ІІ Міжнародної науково-технічної конференції "Сучасні проблеми мікроелектроніки, радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування" (СПМРТП-2006) м. Вінниця, Україна 16-19 листопада 2006 року / МОН України; ВНТУ. – Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2006. – С. 45-46.
- Логвиненко, В. Захисні властивості електронорезистів при плазмохімічному травленні [Текст] / В. Логвиненко, О. Кіщук // Матеріали ІІ Міжнародної науково-технічної конференції "Сучасні проблеми мікроелектроніки, радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування" (СПМРТП-2006) м. Вінниця, Україна 16-19 листопада 2006 року / МОН України; ВНТУ. – Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2006. – С. 47-48.
- Осадчук, В. С. Частотний метод вимірювання температури підкладки при плазмохімічному травленні [Текст] / В. С. Осадчук, Ю. С. Кравченко, Г. В. Івчук // Вимірювання, контроль та діагностика в технічних системах ( ВКДТС-2011 ) : Перша міжнародна наукова конференція пам'яті професора Володимира Поджаренка : збірник тез доповідей / МОНМС України, ВНТУ. – Вінниця : ВНТУ, 2011. – С. 67.
- Осадчук, В. С. Емісійно-спектральний датчик контролю плазмохімічного процесу [Текст] / В. С. Осадчук, Ю. С. Кравченко, С. Ю. Кравченко // Вимірювання, контроль та діагностика в технічних системах ( ВКДТС-2011 ) : Перша міжнародна наукова конференція пам'яті професора Володимира Поджаренка : збірник тез доповідей / МОНМС України, ВНТУ. – Вінниця : ВНТУ, 2011. – С. 61.
- Павлов, С. М. Стимуляція плазмохімічного травлення кремнію іонами із зарядами різних знаків [Текст] / С. М. Павлов // Український фізичний журнал. – 2000. – № 10. – С. 1175-1180.
- Селецька, О. О. Радіовимірювальні оптичні перетворювачі для визначення часу плазмохімічного травлення [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.08 : захищена 15.01.2011 / Олена Олександрівна Селецька ; ВНТУ. – Вінниця, 2010. – 20 с. : іл. – Бібліогр.: с. 20.
- Селецька, О. О. Радіовимірювальні оптичні перетворювачі для визначення часу плазмохімічного травлення [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.11.08 : захищена 15.01.2011 / Олена Олександрівна Селецька ; ВНТУ. – Вінниця, 2010. – 205 с. : іл. – Бібліогр.:с.193-205.
|