| С29 |
Селецька, О. О.
Радіовимірювальні оптичні перетворювачі для визначення часу плазмохімічного травлення [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.11.08 : захищена 15.01.2011 / Олена Олександрівна Селецька ; ВНТУ. – Вінниця, 2010. – 205 с. : іл. – Бібліогр.:с.193-205.
Метою роботи є покращення метрологічних показників, зокрема, чутливості та завадостійкості оптичних перетворювачів технологічно сумісних з мікроелектронною технологічною базою за рахунок перетворення електричного сигналу в частотний. |
