|
| | |
Івчук, Г.
Контроль температури в плазмохімічних процесах травлення мікроструктур [Текст] / Г. Івчук, Ю. Кравченко, В. Осадчук
// Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування (СПРТП-2011) : матеріали V Міжнародної науково-технічної конференції / МОНМС України, ВНТУ, Вінницька філія ВАТ "Укртелеком". – Вінниця : ВНТУ, 2011. – С. 117-118.
|
| |
|
