Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
дифузія, диффузия
диффузия примесей
Документи:
Исследование диффузии бора, фосфора и мышьяка в кремнии при отжиге в неизотермическом реакторе [Текст] / В. И. Рудаков, В. В. Овчаров, В. Ф. Лукичев, Ю. И. Денисенко // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 4. – С. 289-304.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
