| |
Исследование диффузии бора, фосфора и мышьяка в кремнии при отжиге в неизотермическом реакторе [Текст] / В. И. Рудаков, В. В. Овчаров, В. Ф. Лукичев, Ю. И. Денисенко
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 4. – С. 289-304.
Экспериментально и теоретически исследовано влияние градиента температуры на диффузию бора, фосфора и мышьяка при отжиге кремния в низкотермическом ламповом реакторе в секундном и минутном диапазонах. |
