Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

параметры электрофизические

Документи:

Дунаев, А. В. Электрофизические параметры и концентрации активных частиц в плазме смесей HCL с инертными и молекулярными газами [Текст] / А. В. Дунаев, Д. Б. Мурин // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 5. – С. 363-369.
Ефремов, А. М. Параметры плазмы и механизмы травления металлов и полупроводников в смесях HCL + Ar, H_2, O_2 и Cl_2 [Текст] / А. М. Ефремов, Д. Б. Мурин // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 5. – С. 338-345.