| |
Дунаев, А. В.
Электрофизические параметры и концентрации активных частиц в плазме смесей HCL с инертными и молекулярными газами [Текст] / А. В. Дунаев, Д. Б. Мурин
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 5. – С. 363-369.
Проведено исследование электрофизических параметров в смесях HCl-Ar, HCl-H_2 и HCl-Cl_2 в условиях тлеющего разряда постоянного тока. |
