Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
метод
метод предсказания
Документи:
Оптический мониторинг температуры подложки и скорости травления многослойных структур при плазмохимическом травлении [Текст] / П. В. Волков, А. В. Горюнов, А. Ю. Лукьянов [и др.] // Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 5. – С. 331-338.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
