| |
Оптический мониторинг температуры подложки и скорости травления многослойных структур при плазмохимическом травлении [Текст] / П. В. Волков, А. В. Горюнов, А. Ю. Лукьянов [и др.]
// Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 5. – С. 331-338.
Продемонстрирована возможность одновременного определения температуры подложки и толщины тонкой пленки в процессах плазмохимического травления с помощью низкогерентной тандемной интерферометрии на примере структуры кремний на изоляторе. |
