Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
разряд индукционный
Документи:
- Герасимов, А. В. Теплообмен в воздушной плазме вблизи оси высокочастотного индукционного разряда [Текст] / А. В. Герасимов, А. П. Кирпичников // Промышленная теплотехника. – 2002. – № 5. – 18-22.
- Дудин, С. В. Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы [Текст] / С. В. Дудин, Д. В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2009. – № 6. – С. 42-45.
- Ефремов, А. М. Кинетика и режимы плазмохимического травления GaAs в условиях индукционного ВЧ разряда в CF_2Cl_2 [Текст] / А. М. Ефремов, Д. Б. Мурин, А. Е. Левенцов // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 6. – С. 429-434.
- Импульсный индукционный HF-лазер [Текст] / А. М. Ражев, Д. С. Чуркин, Е. С. Каргапольцев, С. В. Демчук // Квантовая электроника. – 2016. – Т. 46, № 3. – С. 210-212.
- Оптимизация энергетических характеристик индукционного разряда в высокочастотных ионных двигателей [Текст] / Г. Г. Шишкин, А. Г. Шишкин, А. П. Плохих, Г. А. Попов // Радиотехника и электроника. – 2017. – Т. 62, № 6. – С. 566-576.
|
