Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
канавка
канавка глубокая
Документи:
Шумилов, А. С.
Моделирование травления высокоаспектных канавок в Si в плазме смеси Cl_2/Ar [Текст] / А. С. Шумилов, И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 3. – С. 177-189.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
