Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
элемент тонкопленочный
Документи:
- Получение наноградиентых покрытий для лазерных приборов методом магнетронного распыления [Текст] / Н. Ф. Абрамов, О. Д. Вольпян, Ю. А. Обод, Р. В. Дронский // Квантовая электроника. – 2013. – Т. 43, № 9. – С. 791-794.
- Данилин, Б. С. Получение тонкопленочных элементов микросхем [Текст] / Б. С. Данилин. – М. : Энергия, 1977. – 136 с. – (Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры ; Вып.10).
- Иванов, Р. Д. Катодный метод создания пленочных элементов микросхем [Текст] / Р. Д. Иванов. – Москва : Энергия, 1972. – 112 с. – (Библиотека радиотехнолога). – 0,32 р.
- Спирин, В. Г. Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона [Текст] / В. Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2004. – № 4. – 9-11.
- Спирин, В. Г. Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов [Текст] / В. Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2004. – № 4. – 50-53.
|
