Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук Відібрані Формуляр Опис документа
Сайт бібліотеки Сайт ВНТУ
621.382
Д 18          Данилин, Б. С.
    Получение тонкопленочных элементов микросхем [Текст] / Б. С. Данилин. – М. : Энергия, 1977. – 136 с. – (Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры ; Вып.10). – 10000.

   Рассмотрены вакуумные методы получения тонкопленочных слоев с помощью испарения и конденсации веществ в высоком вакууме и распыления ионной бомбардировки.

  УДК 621.382-181.48


            


Примірники
Місце збереження Кількість В наявностi
603 - ч/з для студ. ст. курсів 1 1


Теми документа


Статистика використання: Видач: 0





Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'